114物理分科測驗25 - 哇來找自然

<題組題>[題組:第24-26題]有關在晶圓與光源間注入純水的做法，下列不同波長的光源，何者較不適用？（單選）（3分）
(A)13.5nm (B)193nm (C)248nm (D)365nm (E)436nm

答案

由圖10可知13.5nm波長衰減係數極大（\( 10^6 \sim 10^7 \)），光強度急速衰減，不適用。
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